반도체동반성장

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도체 장비/재료/부분품 성능평가 사업

소자-장비-재료-부품으로 이어지는 반도체 생태의 선순환을 위하여, 국내 수요기업에서 직접 개발 제품을 평가하고 인증합니다.

평가 지원

장비/재료기업에 활용되는

부분품/소재

Track 1

반도체 장비/재료 기업에서 사용하는 부분품/소재 품목에 대해 평가를 지원합니다.

평가 단계

  • 전문가의

    기초평가

  • 장비/재료기업의

    적용평가

  • 소자기업의

    양산평가

*'기초 평가'부터 단계별로 평가가 진행되며, 각 평가마다 인증서가 발급됩니다.

평가 예시

  • 센서, 밸브, 전구체 등 부분품 및 소재 등에 대하여
  • ① 센서, 밸브, 전구체 등의 자체 성능을 확인하고 검증하는 (기초평가)
  • ② 센서, 밸브, 전구체 등을 CVD 장비에 실장하여 검증하는 (적용평가)
  • ③ 센서, 밸브, 전구체가 적용된 CVD 장비를 소자 기업이 검증하는 (양산평가)

소자기업에 활용되는

장비 재료

Track 2

소자기업에서 사용하는 장비/재료 품목에 대해 소자기업이 평가토록를 지원합니다.

평가 단계

  • 소자기업의

    기초평가

  • 소자기업의

    양산평가

*'기초 평가'부터 단계별로 평가가 진행되며, 각 평가마다 인증서가 발급됩니다.

평가 예시

  • PR, Dark Field 검사기 등 장비 및 재료에 대하여
  • ① PR, Dark Field 검사기 등의 자체 성능을 소자기업이 검증하는 (기초평가)
  • ② PR, Dark Field 검사기 등을 소자 대기업의 양산 라인에서 검증하는 (양산평가)

소자기업에 활용되는

핵심 부분품 / 시설 Infra

Track 3

소자기업에서 사용하는 핵심 부분품과 시설 Infra 품목에 대해 소자 기업이 직접 평가를 지원합니다.

평가위원회에서 소자기업의 수요품목 여부를 검토하여, ‘핵심 부분품/설비‘ Track으로 결정됩니다.

평가 단계

  • 소자기업의

    기초평가

  • 소자기업의

    양산평가

*'기초 평가'부터 단계별로 평가가 진행되며, 각 평가마다 인증서가 발급됩니다.

평가 예시

  • RPSC(핵심 부분품), 진공 이중배관 시스템(시설 Infra) 등에 대하여
  • ① RPSC, 진공 이중배관 시스템 등의 자체 성능을 소자기업에서 검증하는 (기초평가)
  • ② RPSC, 진공 이중배관 시스템등을 소자 대기업의 양산 라인에서 검증하는 (양산평가)
사업문의02.570.5263

(13524) 경기도 성남시 분당구 판교역로 182 한국반도체산업협회
TEL : 02 . 570 . 5263 | FAX : 02 . 570 . 5269
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