| 구분 | 장비 기업 | ||
|---|---|---|---|
| 인증번호 | 20-P-06 | ||
| 품목명 | Smart Wafer(삼성전자향) | ||
| 모델명 | Smart Wafer | ||
| 기업명 | 예스티㈜ | ||
| 평가인증단계 | 기초 | ||
| 인증기관 | 삼성전자 | ||
| 인증일자 | 2020-08-31 | ||
| 기업홈페이지 | http://www.yest.co.kr | ||
| 품목 담당자 | 조문성 선임연구원 | ||
| 연락처 | 010-5664-0986 | ||
| msjo0308@yest.co.kr | |||
| 품목개요 | 반도체 제조공정설비 내부 특정위치(Load Port, Load Lock, Buffer Stage, ESC, Robot Blade)에서 Wafer 정위치 유/무를 진공 챔버 열지 않고 실시간 점검/보정을 통해 수율 향상에 기여 하고, 구동부에 대한 환경(진동, 기울기, 온습도 등) 실시간 모니터링이 가능. | ||
| 품목 특장점 |
- 세계최초/유일하게 진공챔버 열지 않고 공정 중에 Wafer 핸들링(티칭값)을 실시간 점검/보정하는 솔루션을 제공. - Spec : ① Wafer Precision : Working Distance 37mm(±100um) ② Camera : CMOS Sensor, 1500x1500 Pixel ③ Wafer Repeatability : < 100um ④ Using Wafer Time : > 30min |
||
| 제품 이미지 |
   |
||
default > 인증품목 directory
