| 구분 | 부분품 기업 | ||
|---|---|---|---|
| 인증번호 | 20-A-04 | ||
| 품목명 | Vaccum APC Valve | ||
| 모델명 | VPC-VA32A-K820 | ||
| 기업명 | 주식회사 엠에스티 | ||
| 평가인증단계 | 적용 | ||
| 인증기관 | SK하이닉스 | ||
| 인증일자 | 2020-08-31 | ||
| 기업홈페이지 | |||
| 품목 담당자 | 서문민 상무 | ||
| 연락처 | 010-5549-3569 | ||
| mseomoon@mst-ltd.co.kr | |||
| 품목개요 | APC Valve (Auto Pressure Control)는 반도체 공정에서 활용되는 진공밸브의 한 종류이며 반응 Chamber에 급배기하는 각동 가스의 유량이나 압력을 고정밀도로 제어하여 제품 품질을 향상시키는 역할을 수행. | ||
| 품목 특장점 |
- APC Valve 국산화를 통해 신제품 개발 적극적 대처 가능 및 고객 요구에 맞춰 신속한 Optimizing 설계 가능. - 외산(일보)에 전적으로 의존하고 있던 해당 제품에 대한 국산화 성공. - 외사 대비 20% 비용절감. - 구조설계 313mm(기존 365mm) - 압력제어 제어 Time 10sec (기존 15 sec) - 압력제어 0.2 Torr/Sec(기존 동일) |
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| 제품 이미지 |
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