| 구분 | 부분품 기업 | ||
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| 인증번호 | 20-A-12 | ||
| 품목명 | 진공로보트 | ||
| 모델명 | Vactra-Q | ||
| 기업명 | 라온테크㈜ | ||
| 평가인증단계 | 적용 | ||
| 인증기관 | 유진테크 | ||
| 인증일자 | 2020-08-31 | ||
| 기업홈페이지 | raonrobot.com/ | ||
| 품목 담당자 | 이성직 전무 | ||
| 연락처 | 010-2560-8623 | ||
| sjlee@raonrobot.com | |||
| 품목개요 |
- 반도체 전공정 장비에 공통적으로 사용되는 EFEM 시스템. - 주행부가 필요 없는 Scara 대기 로봇, Aligner, FFU 등이 포함. - Class 1 수준의 높은 Clean도 유지. - 높은 반복 정밀도 구현. - EFEM 상부에 PM용 ELEC RACK 구성. |
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| 품목 특장점 |
- 외산에 전적으로 의존하고 있던 해당 제품에 대한 국산화 성공. - 국내외 경쟁사 대비 성능 우수성 확보. - Repeatability ≤ ±0.1mm - Wafer Align timw ≤ 3.5s - Scara type의 대기 로봇. |
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| 제품 이미지 |
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