| 구분 | 부분품 기업 | ||
|---|---|---|---|
| 인증번호 | 20-A-23 | ||
| 품목명 | Transfer Module | ||
| 모델명 | ARIES-A800-DC | ||
| 기업명 | ㈜싸이맥스 | ||
| 평가인증단계 | 적용 | ||
| 인증기관 | 무진전자 | ||
| 인증일자 | 2020-08-31 | ||
| 기업홈페이지 | www.cymechs.com | ||
| 품목 담당자 | 김태원 부장 | ||
| 연락처 | 010-2285-4752 | ||
| twkim@cymechs.com | |||
| 품목개요 | 반도체 공정 설비에 사용되는 웨이퍼 반송 장치인 EFEM(Equipment Front End Module), Robot, Vacuum Transfer Chamber, Load Lock Chamber 등으로 구성된 통합 Transfer Module(Platform) 장비. | ||
| 품목 특장점 |
- 해당 Transfer Module의 외산 의존도를 줄이고 국산화에 기여할 것으로 예상. - Robot Repeatability 측정(Vision 측정기: ±0.05mm). - Transfer Module 진공도 (Vacuum Gauge로 측정 : < 50 mTorr). |
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| 제품 이미지 |
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