| 구분 | 장비 기업 | ||
|---|---|---|---|
| 인증번호 | 20-A-33 | ||
| 품목명 | Smart Storage | ||
| 모델명 | Smart Storage | ||
| 기업명 | 예스티㈜ | ||
| 평가인증단계 | 적용 | ||
| 인증기관 | 테스 | ||
| 인증일자 | 2020-08-31 | ||
| 기업홈페이지 | http://www.yest.co.kr | ||
| 품목 담당자 | 오광명 대리 | ||
| 연락처 | 010-5188-8017 | ||
| kmoh@yest.co.kr | |||
| 품목개요 | 반도체 Wafer 공정 진행 중 생성되는 Fume 제거 및 Wafer의 습도를 낮춰 주는 역할을 하는 장비. | ||
| 품목 특장점 |
- 공기압축기를 이용한 배기(Fume 제거) : 배기율 0~100% 조절 가능. - Slot 별 N₂ Purge 및 실리콘 러버 히터를 사용하여 습도를 낮춤. - N₂ Purge 충진, 배기 형식으로 나누어서 사용 가능. : 배기형 - Fume 제거 특화. : 충진형 - 습도 감소 특화. |
||
| 제품 이미지 |
  |
||
default > 인증품목 directory
