구분 | 부분품 기업 | ||
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인증번호 | 20-A-40 | ||
품목명 | Hi-k Vaporizer | ||
모델명 | SVP-1100 | ||
기업명 | 티티에스 | ||
평가인증단계 | 적용 | ||
인증기관 | 원익IPS | ||
인증일자 | 2020-08-31 | ||
기업홈페이지 | http://www.ttsc.co.kr/ | ||
품목 담당자 | 서판길 과장 | ||
연락처 | 010-7576-2078 | ||
pg-seo@ttsc.co.kr | |||
품목개요 | 반도체 소자를 생산하는 장비 중 CVD, ALD 증착 장비의 프리커서를 기화하는 부품. | ||
품목 특장점 |
- 외산에 전적으로 의존하고 있던 해당 제품에 대한 국산화 성공. - 국내외 경쟁사 대비 성능 우수성 확보. * Vaporization : 5g/min@H2O |
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제품 이미지 |