| 구분 | 부분품 기업 | ||
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| 인증번호 | 20-M-01 | ||
| 품목명 | DICO2 GENERATOR | ||
| 모델명 | ECR-40X-01 | ||
| 기업명 | 에이치제이에스이엔지㈜ | ||
| 평가인증단계 | 양산 | ||
| 인증기관 | SK하이닉스 | ||
| 인증일자 | 2020-08-31 | ||
| 기업홈페이지 | www.hjseng.com | ||
| 품목 담당자 | 김민 부장 | ||
| 연락처 | 010-2070-2876 | ||
| m.kim@hjseng.com | |||
| 품목개요 |
- 반도체 Wafer는 ESD(Electro StaticDischarge)에 아주 민감한 요소이기 때문에 매 순간 ESD(정전기)로 부터 보호. - 당사 DICO2 GENERATOR는 CO2가스를 초순수에 용해시켜 초순수의 비저항값을 조절함으로써 반도체용 Wafer 세정 공정 중에 발생할 수 있는 정전기를 제거하는 목적으로 반도체 세정 공정에 사용. - 수입 제품에만 의존하던 장치를 반도체용으로 국산화. |
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| 품목 특장점 |
1. 비저항 : 0.1 -0.5 ㏁ 2. 유량 : 10- 35LPM 3. MFC로 CO2 GAS 주입량 설정하여 비저항을 제어. 4. CO2 MFC 설치하여 소모되는 CO2 양 확인 가능. 5. CO2 GAS FILTER 3nm 내장하여 PARTICLE 제거. 6. Mixer 방식 사용으로 CO2 잉여 가스를 발생 시키지 않음. 7. DIW 유량계 내장으로 유량 확인 가능. 8. 사용 시 발생되는 소모품이 거의 없음. |
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| 제품 이미지 |
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