- 반도체용 칩 제조 장비에 장착되는 핵심 부품. - 정전력을 이용하여 Wafer의 고정 및 온도 유지의 기능 수행.

- Etching 공정 설비에 장착되어 웨이퍼에 인가되는 온도를 조절 하는 역할. 

- 반도체 공정 선폭 미세화 및 웨이퍼 생산성 향상을 위해 온도 균일도 요구 수준이 높음. 

- 온도 균일도 제어를 위한 다중 온도 제어 기능을 포함한 ESC가 각광을 받고 있음.

- 국내 최초 순도 96%인 세라믹 그린 시트를 이용한 적층형 세라믹 히터 플레이트 제조.

- 적층형 세라믹으로 Etching 공정용 정전척 제조. 

- 금속 세라믹 히터가 포함된 정전척의 개발과 평가 완료. 

   → 해외 선행사 대비 1/3 가격에 국내 반도체 칩 생산 기업에 정전척 공급 가능.