| 구분 | 부분품 기업 | ||
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| 인증번호 | 20-M-08 | ||
| 품목명 | 플라즈마 크리너 | ||
| 모델명 | EVC-170A | ||
| 기업명 | 이엠아이티 | ||
| 평가인증단계 | 양산 | ||
| 인증기관 | DB하이텍 | ||
| 인증일자 | 2020-08-31 | ||
| 기업홈페이지 | www.emit.do.kr | ||
| 품목 담당자 | 김재동대표 | ||
| 연락처 | 010-3283-7348 | ||
| jdkim@emit.or.kr | |||
| 품목개요 | 진공챔버 내부 및 시료의 유기물오염을 플라즈마를 이용하여 제거하는 장치. | ||
| 품목 특장점 |
이엠아이티 플라즈마 크리너는 10~100W범위의 RF파워를 사용하여 진공챔버나 시료의 오염물질인 유기물을 제거 한다. 특히 SEM/TEM/FIB등 분석장비 챔버내부 오염제거에 탁월한 성능을 갖고 있으며 기존 LN2 사용 크리닝방식의 불편함를 획기적으로 개선. 주요특징은 Low-Pressure plasma system Small size plasma head Full automatic operation Long lifetime (over 10years) Low operation cost (none consumable part) None process gas (air) Adaptable TEM/SEM/FIB vacuum chamber Adjustable cleaning time (1min~18hr) Adjustable RF power (0~100watt) UV radiation cleaning effect No storage and disposal of hazardous No damage to EM chamber |
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| 제품 이미지 |
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