| 구분 | 재료 기업 | ||
|---|---|---|---|
| 인증번호 | 20-IM-03 | ||
| 품목명 | SOC Hardmask | ||
| 모델명 | ADJHS-2045 | ||
| 기업명 | ㈜동진쎄미켐 | ||
| 평가인증단계 | 성능개선 | ||
| 인증기관 | SK하이닉스 | ||
| 인증일자 | 2020-08-31 | ||
| 기업홈페이지 | www.dongjin.com | ||
| 품목 담당자 | 김현진 상무 | ||
| 연락처 | 031-350-5482 | ||
| hjkim1@dongjin.com | |||
| 품목개요 | Amorphous Carbon Layer 대체 적용 가능한 Spin on Carbon Hardmask 소재로서 Etch 내성, Gap-fill 특성, Thermal 특성 및 용해도 개선 소재. | ||
| 품목 특장점 |
- 외산 양산 제품 대체, 국산화 성공. - 국내외 경쟁사 대비 성능 우수성 확보. - 1y nm급 DRAM Device 양산 전환 완료. ∙ Etch Resistance 70% ∙ Gap-fill_Void Free ∙ Thermal Stability ≤5wt% loss @400°C ∙ No Clogging Issue |
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| 제품 이미지 |
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