| 구분 | 부분품 기업 | ||
|---|---|---|---|
| 인증번호 | 20-IM-07 | ||
| 품목명 | Etch 장비용 방열 Pad | ||
| 모델명 | CM-4W | ||
| 기업명 | ㈜씨엠테크 | ||
| 평가인증단계 | 성능개선 | ||
| 인증기관 | 삼성전자 | ||
| 인증일자 | 2020-08-31 | ||
| 기업홈페이지 | http://www.cmsemitech.com/ | ||
| 품목 담당자 | 조민철 이사 | ||
| 연락처 | 010-8619-1097 | ||
| cmc@cmsemitech.com | |||
| 품목개요 | 반도체 Oxide 공정 Etch 장비의 챔버(Chamber) 내 정전척(Electro Static Chuck, ESC) Edge부에 장착되는 부품으로서, Edge부에 발생되는 열을 방출시켜 웨이퍼 수율을 높이는 역할을 하는 부품. | ||
| 품목 특장점 |
o OEM 소재 동등 이상 수준 제품 개발. - 일본 S社 TC-100TXS 모델 대체(5W/mk급) → 해당제품에 대한 국산화 대체 완료. o OEM 소재 대비 성능 우수성 확보. 1) Thermal conductivity : ≥ 4.6/mk 2) Hardness : Shore00 80 3) Tacky : ≥ 50gf/cm^2 4) Elongation : ≥ 60% 5) Oil-bleeding : ≤ 0.2% 6) △ Thermal conductivity : ≤ 3% 7) △ Hardness : ≤ 3% |
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| 제품 이미지 |
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