| 구분 | 부분품 기업 | ||
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| 인증번호 | 20-IM-09 | ||
| 품목명 | 건식 진공펌프 | ||
| 모델명 | HD3000 | ||
| 기업명 | ㈜엘오티베큠 | ||
| 평가인증단계 | 성능개선 | ||
| 인증기관 | SK하이닉스 | ||
| 인증일자 | 2020-08-31 | ||
| 기업홈페이지 | www.lotvacuum.com | ||
| 품목 담당자 | 심재업 연구위원 | ||
| 연락처 | 010-8780-7661 | ||
| jushim@lotvacuum.com | |||
| 품목개요 | 3D Nand 반도체 핵심공정 On Mask 공정용으로 고효율 Motor 와 내식성 Coating 적용으로 경쟁사(외산) 대비 성능 개선 된 건식 진공펌프 개발. | ||
| 품목 특장점 |
>94% 고효율 Motor 적용. 강한 내식성을 가진 Coating 적용. 100% 국산화 달성을 통한 수입 제품 대체 가능. |
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| 제품 이미지 |
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