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인증품목 Directory

구분 재료 기업
인증번호 20-IM-10
품목명 STI CMP Additive Material
모델명 MS-D001
기업명 ㈜ 엠에스머트리얼즈
평가인증단계 성능개선
인증기관 DB하이텍
인증일자 2020-08-31
기업홈페이지 www.msmaterials.co.kr
품목 담당자 배성호 부장
연락처 041-856-5551
E-mail shbae@msgas.co.kr
품목개요 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정은 일반적으로 사용하는 슬러리의 제품의 종류에 따라 일액형 제품과 이액형 제품으로 나뉘는데 현 제품은 이액형 제품으로 STI CMP additive material로 사용하는 첨가제로 사용하는 고농도의 첨가제 제품.
품목 특장점 고농도 첨가제와 슬러리의 분산안정성 확보를 통한 CMP 연마중 발생하는 결함이나 스크레치 및 디싱 저감 원천 기술 확보하였으며 국내 유일의 고농도 첨가제 제조 기술 확보.
제품 이미지



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