| 구분 | 장비 기업 | ||
|---|---|---|---|
| 인증번호 | 20-IM-13 | ||
| 품목명 | Thernal ALD Nitride | ||
| 모델명 | Bennu-L | ||
| 기업명 | ㈜ 유진테크 | ||
| 평가인증단계 | 성능개선 | ||
| 인증기관 | 삼성전자 | ||
| 인증일자 | 2020-08-31 | ||
| 기업홈페이지 | www.eugenetech.co.kr | ||
| 품목 담당자 | 이성한 전무 | ||
| 연락처 | 031-330-3891 | ||
| shlee@eugenetech.co.kr | |||
| 품목개요 | 반도체 생산 공정에 사용되는 Batch Type ALD 방식의 막질 Deopsition 장비, 상대적으로 높은 온도에서 Gas들을 ALD 반응에 의하여 막질을 만드는 데, 높은 Step Coverage의 막질 형성이 가능. | ||
| 품목 특장점 |
- 외산에 전적으로 의존하고 있던 해당 제품에 대한 국산화 성공. - 외산 경쟁사 대비 동등 우위 생산성 확보. ∙ ≥ 175매/Batch (경쟁사 ≥156매/Batch) |
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| 제품 이미지 |
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