| 구분 | 장비 기업 | ||
|---|---|---|---|
| 인증번호 | 20-IM-14 | ||
| 품목명 | 불화수소 절감형 Wet Clean 장비 | ||
| 모델명 | TRAUM220LS | ||
| 기업명 | ㈜이노맥스 | ||
| 평가인증단계 | 성능개선 | ||
| 인증기관 | DB하이텍 | ||
| 인증일자 | 2020-08-31 | ||
| 기업홈페이지 | www.inno-max.co.kr | ||
| 품목 담당자 | 김형근 부장 | ||
| 연락처 | 031-831-0222 | ||
| hkkim@inno-max.co.kr | |||
| 품목개요 |
Wafer에 Oxidation 또는 Deposition 되어 있는 각종 Film 에 대한 전면적/선택적 Etching을 목적으로 하는 장비로 각종 Chemical을 사용하여 wafer를 cleaning 하는 장치. Etching Process에 사용되는 Chemical(특히 불화수소) 의 선택적 회수 및 Recycling 을 통한 ‘불화수소 절감형’ Wet Cleaning System. |
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| 품목 특장점 | 기존 200mm wafer batch type cleaning 공정에서 외산장비를 대체 할 수 있는 기술력 확보 하였으며 국내 제조를 통해 설계,가공,배관,제어 부분 일관 생산 체계 확보로 Delivery time 축소 및 제조원가 15% 절감 가능. | ||
| 제품 이미지 |
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