| 구분 | 장비 기업 | ||
|---|---|---|---|
| 인증번호 | 20-A-28 | ||
| 품목명 | Heat Exchanger | ||
| 모델명 | FSTC-EPHS08H | ||
| 기업명 | ㈜에프에스티 | ||
| 평가인증단계 | 적용 | ||
| 인증기관 | 주성엔지니어링 | ||
| 인증일자 | 2020-08-31 | ||
| 기업홈페이지 | www.fstc.co.kr | ||
| 품목 담당자 | 정병권 부장 | ||
| 연락처 | 010-9183-5935 | ||
| bkjung@fstc.co.kr | |||
| 품목개요 |
Chiller는 반도체/FPD 공정 중 발생하는 열을 흡수하여 공정 장비의 내부, Wafer, Glass 등의 온도를 일정하게 유지함으로써 반도체/FPD 공정 효율을 개선하는 장비로 Peltier 소자를 이용하는 전기식 Chiller, 냉동기를 이용하는 냉동식 Chiller 및 저온의 Water를 이용하는 열교환기식 Chiller가 있음. |
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| 품목 특장점 |
1.빠른 응답을 위해 Main Fab층의 공정 챔버 옆에 설치 운영. 2.Small Foot Print. 3.친환경 냉각수. 4.광범위한 운영 온도 (+30~180℃) 5.온도 안정성 (±0.1℃). |
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| 제품 이미지 |
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